Reinraumgerechte Konstruktion und Materialien - CORE

Reinraumgerechte Konstruktion und Materialien . By E. Degenhart and J. Geißinger. Abstract. Ziel der reinraumgerechten Konstruktion ist es, die Partikelemission vor allem in dem Bereich des Fertigungssystems zu minimieren, in dem die Produkte offen gehandhabt werden müssen. Die vorgestellten Ergebnisse resultieren aus Partikelmessungen und ...

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